云南驰诚真空镀膜设备
【真空蒸镀的历史】:1857年MichaelFaradayZui早提出基本原理,而后、1930年代由于油扩散式真空泵实用化、蒸镀主要用于制作镜片防反射膜。第二次世界大战时,其他的光学机器对材料的需求提高,真空蒸镀也因此快速发展。【真空蒸镀的原理】:在真空状态下,加热蒸发容器中的靶材,使其原子或分子逸出,沉积在目标物体表面,形成固态薄膜。依蒸镀材料、基板的种类可分为:抵抗加热、电子束、高周波诱导、雷射等加热方式。蒸镀材料有铝、亚铅、金、银、白金、镍等金属材料与可产生光学特性薄膜的材料,主要有使用SiO2、TiO2、ZrO2、MgF2等氧化物与氟化物。蒸镀除金属外,树脂与玻璃也可以使用、近年来连纸也变成可蒸镀。【蒸发镀膜的优缺点】:优点:设备简单、容易操作;成膜的速率快,效率高。缺点:薄膜的厚度均匀性不易控制,蒸发容器有污染的隐患,工艺重复性不好,附着力不高。真空镀膜设备详细镀膜方法。云南驰诚真空镀膜设备
【真空镀膜设备之真空的获得】:真空泵:真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。其广fan用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。A、粗真空泵(RoughVacuumPump):一般用于抽粗真空,有油泵和干泵。从结构上可分几种:旋转叶片泵:油泵,极限真空可达10&3Torr,抽速1~650CFM隔膜泵:干泵,极限真空1Torr左右,抽速<10CFM往复式活塞泵山东定制真空镀膜设备真空镀膜机参数怎么调?
【真空镀膜设备捡漏方法】:检漏方法很多,根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。充压检漏法:在被检件内部充入一定压力的示漏物质,如果被检件上有漏孔,示漏物质便从漏孔漏出,用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质,从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小,此即充压检漏法。真空检漏法:被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态,在被检件的外部施加示漏物质,如果有漏孔,示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间,由敏感元件检测出示漏物质,从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小,这就是真空检漏法。其它检漏法:被检件既不充压也不抽真空,或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件,然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出.以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体,判定被检件的总漏率的方法。
【离子镀膜法之射频离子镀】: 射频离子镀(RFIP):利用电阻或电子束加热使膜材气化;依靠射频等离子体放电使充入的真空Ar及其它惰性气体、反应气体氧气、氮气、乙炔等离化。这种方法的特点是:基板温升小,不纯气体少,成膜好,适合镀化合物膜,但匹配较困难。可应用于镀光学器件、半导体器件、装饰品、汽车零件等。射频离子镀膜设备对周遭环境没有不利影响,符合现代绿色制造的工业发展方向。目前,该类型设备已经guang泛用在硬质合金立铣刀、可转位铣刀、焊接工具、阶梯钻、钻头、铰刀、油孔钻、车刀、异型刀具、丝锥等工具的镀膜处理上。 此外,离子镀法还包括有低压等离子体离子镀,感应离子加热镀,集团离子束镀和多弧离子镀等多种方法。真空镀膜设备主要用途?
【真空镀膜改善基片与膜的结合】: 1. 加强去油去污处理,如是超声波清洗,重点考虑去油,若是手擦,考虑先用碳酸钙粉擦再清擦; 2. 加强镀前烘烤; 3. 有条件时,机组安装冷凝及(POLYCOLD); 4. 提高真空度; 5. 有条件时,机组安装离子源; 6. 膜料的去潮; 7. 保持工作环境的干燥; 8. 对于多层膜,在膜系设计时,就要考虑第yi层膜与基片的匹配; 9. 采取研磨液复新去除镜片表面的腐蚀层; 10. 有时候适当降低蒸发速率对膜强度的提高有帮助,对提高膜表面光滑度有积极意义。真空镀膜设备怎么维修。河南真空镀膜设备组成
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1.厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2.化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。3.晶格有序度的均匀性: 这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题。云南驰诚真空镀膜设备
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